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并且,上级也知道,生产上不能指望这些设备!”
说完,又颓然的缓缓坐下。
“这——这——这!”
林天河这了半天,也想不出合适的词来形容这么扯淡的情况。
老头满脸无奈,摇着头说道:“我能够画出图纸,你说有什么用呀!
他们完全造不出来呀!”
林天河一脸疑惑,这都有图纸了,怎么会造不出来呢?
没什么道理吧?毕竟现在的光刻机,没有那么复杂吧?
后世的光刻机有几万个零部件,现在才哪到哪呀?
不等林天河发问,老头接着说道:“光刻机原理其实很简单,就是把掩膜板的图纸投射在光刻胶上。
你可以看成是,用光去照射一张纸上面、切割出来的一条条隙缝,漏出来的光投射到光刻胶上。
光刻胶感光,变得容易腐蚀。”
林天河想了想说道:“那不就是有些工人先刻出模子,再往上面涂抹颜料,就出现图形嘛!
这个我懂!”
老头说道:“那个模子,就类似掩膜板。
我先说镜头,光越细,就越容易出现干涉条纹,这个你上中学应该学过。
但是光刻机需要高精度,就必须使用短波长的光,现在基本都是用的汞光源的紫外光,就是让光不产生或者少产生干涉条纹。”
“但这还是不够,还要用到镜头,通过几块、十几块、甚至几十块透镜组合,让光线更好的聚焦。
这就要求镜头极其光滑,打个比方,如果把一块镜头扩展到地球这么大平面,不能有一个几厘米高的土堆!”
“以后随着精度的提高,对镜头的要求,也会随之提高!
同时,玻璃虽然透光,但是镜头多了,光线也会衰减,这就需要透光率更高的玻璃!”
林天河目瞪口呆,他原来知道镜头技术含量很高,但没想到这么高!
这镜头怎么抛光?
打磨镜片的师傅手工抛光?
老头却猜到了林天河所想,说到:“你想的没错,他们现在是使用老师傅手工抛光!
那台光刻机上面的镜头,是从几百片镜片中挑出来的!”
“我原想,他们既然能够生产3微米的光刻机了,那镜头应该不是问题,实际上却是大问题!
我之前觉得能手搓光刻机,也真够狂妄无知了!”
老头满脸沮丧,他又何尝不是心里拔凉?但老头还没说完,接着又说到:“不光是镜头,工件台的问题也很大!
步进投影式光刻机,采用的是缩放投影的方式工作。
因此曝光区不再是整个硅片,而是其中的一小块面积,所以每曝光一次,硅片就必须移动到下一个区域再曝光,直到全部完成。”
“这样好处是提高了光刻的分辨率,但是曝光工作大量增加,这就是以牺牲速度换来更高的精度。”
“工件台的定位精度影响对准精度,运动的速度决定了光刻机每小时的硅片曝光量,光刻机的精度和效率全靠工件台的技术水平。
”
“现在青华那台光刻机,是要精度没速度,要速度没精度。
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